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去年12月，阿斯麦确认向英特尔交付首台高数值孔径极紫外光刻系统，这台机器的售价高达3.5亿欧元（约合27亿元公民币）。
英特尔光刻主管马克·菲利普斯表示：“我们在决定购买这些设备时就已经认可了它们的价格。如果我们不认为这些设备物有所值，我们根本不会采购。”
此前英特尔CEO基辛格曾表示，该设备将会被运用于1.8nm以下的寻衅。
（图片来自网络侵删）
除了英特尔外，台积电、三星、SK海力士和美光等也都订购了这款机器，但由于该设备的运输和安装可能须要长达六个月的韶光，因此英特尔此举已经领先了对手至少半年。
而英特尔决定要率先采取高数值孔径极紫外光刻机也并非有时。
英特尔虽曾参与开拓极紫外光刻技能，但在开始利用阿斯麦首款极紫外光刻机上却晚于其竞争对手台积电，基辛格也承认，这是一个严重的失落误。
菲利普斯也表示：“现在我们已经有了期待已久的新一代极紫外光刻机，我们不想再犯过去的缺点。”
